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外形尺寸: 寬820*深870*高1770mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 30升:寬310*深340*高320mm
放料層數(shù): 6層(1~2~3~6層可調(diào)/鎖固電極板)
有效空間: 每層可用:寬255*深245*高42mm
等離子電源: 13.56MHz/500W(或40KHz/600W)
真空泵: 油泵(可選配干泵)
主電源: AC 220V±10%,50/60Hz
外形尺寸: 寬820*深870*高1770mm(含燈塔高度)
反應(yīng)腔尺寸: 30升:寬310*深340*高320mm
放料層數(shù): 6層(1~2~3~6層可調(diào)/鎖固電極板)
有效空間: 每層可用:寬255*深245*高42mm
等離子電源: 13.56MHz/500W(或40KHz/600W)
真空泵: 油泵(可選配干泵)
主電源: AC 220V±10%,50/60Hz
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